光刻胶的硬烘烤技术 工业指数 2024-07-11 48676 根据光刻胶的应用工艺，我们可以采用适当的方法对已显影的光刻胶结构进行处理以提高其化学或物理稳定性。通常我们可以采用烘烤步骤来实现整个光刻胶结构的热交联，称为硬烘烤或者坚膜。或通过低剂量紫外线辐照和高温的结合的方法，使用深紫外坚膜工艺只能使得光刻胶表面发生交联。下面详细介绍这两种工艺，以及光刻胶在处理过程中的... 阅读全文
